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壓電陶瓷管掃描器是可以XYZ三維運(yùn)動(dòng)的壓電陶瓷管，用于三維微掃描與定位，如AFM原子力顯微鏡等。

結(jié)構(gòu)形式-四區(qū)分割電極

工作方式及原理

壓電陶瓷管掃描器為壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個(gè)電極、內(nèi)壁一體或者分區(qū)電極的壓電陶瓷管，當(dāng)外部施加一個(gè)正電壓到某一個(gè)區(qū)域時(shí)，陶瓷管垂直方向收縮，使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾斜，同時(shí)施加電壓會使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。

電極

可選化學(xué)鍍鎳、化學(xué)鍍鎳和金。也可接受電極定制。

驅(qū)動(dòng)方式與位移計(jì)算

標(biāo)準(zhǔn)品技術(shù)參數(shù)

定制產(chǎn)品尺寸范圍

壓電陶瓷管掃描器用于光纖章動(dòng)跟蹤

壓電陶瓷管掃描器體積小巧以及掃描速度快等特點(diǎn)，使其非常適于光纖章動(dòng)跟蹤。采用光纖章動(dòng)跟蹤方法，進(jìn)行空間激光到單模光纖的耦合。章動(dòng)運(yùn)動(dòng)如下圖所示。

壓電陶瓷管掃描器的外徑可小于3mm，體積非常小巧，非常便于集成。掃描范圍為幾微米甚至可達(dá)上百微米，且響應(yīng)速度可達(dá)亞毫秒，頻率達(dá)5kHz甚至更高，可滿足光纖章動(dòng)跟蹤的要求。