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近年來，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，在半導(dǎo)體、精密測量、超精密加工和納米技術(shù)等領(lǐng)域?qū)Χㄎ痪扔兄絹碓絿?yán)苛的限制，這就需要高性能的超精密壓電定位臺作為技術(shù)。

為了實現(xiàn)納米級的精密定位，需要高精度的驅(qū)動方式和傳動方式，使定位臺達(dá)到納米級的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺利用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)作為傳動裝置構(gòu)成超精密定位系統(tǒng)可實現(xiàn)納米級精密定位。

芯明天納米定位臺采用的是柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用，實現(xiàn)高分辨率以及大位移行程。

柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊且無摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高，頻響高的超高精度納米定位臺。同時柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)還可以提供適當(dāng)?shù)念A(yù)緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

芯明天壓電納米定位臺

芯明天壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點，可以實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。

產(chǎn)品應(yīng)用

超精密測量

采用芯明天壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的力控制實驗。

超精密機(jī)械加工

壓電納米定位臺帶動刀具微納米級進(jìn)給，從而實現(xiàn)光學(xué)非球面、微結(jié)構(gòu)及模具納米級超精密加工。