壓電快反鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
壓電快反鏡采用經過特殊設計的精密音圈電機作為驅動，輸出力大、響應快、控制精度高；采用反射鏡及支撐結構一體化設計技術，降低了質量/慣量、減小了體積，具有優異的動態特性；采用了轉軸構型優化技術，使快反鏡具有良好的控制精度和閉環帶寬。
高速精密壓電偏轉鏡是為了滿足在光學成像和檢測系統中鏡子超快超精密定位的需求設計的。高速精密壓電偏轉鏡采用壓電陶瓷為驅動，利用無摩擦的柔性鉸鏈導向系統，使偏轉鏡擁有體積小、無摩擦，定位精度高等優點。
壓電快反鏡產品主要特點
亞微弧度的分辨率
超快響應時間
柔性鉸鏈導向系統
高的可靠性
高的帶寬
該偏轉鏡子只需要簡單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動質量和優異的控制系統可以提供的響應時間和和速度。
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