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P77.D9壓電式移相器

更新時(shí)間: 2020-07-06

P77系列壓電移相器是專為光學(xué)檢測(cè)移相應(yīng)用而設(shè)計(jì),行程范圍可達(dá) 50µm,負(fù)載能力可高達(dá)10kgP77.D9為P77系列中的一款,它的中心通孔為φ140mm,移相行程可達(dá)32μm,分辨率達(dá)0.5nm,適用于各種光學(xué)鏡片、鏡頭等測(cè)量的臥式激光干涉儀,臥式承載達(dá)5kg

芯明天壓電移相器以定制設(shè)計(jì)為主,依據(jù)客戶的設(shè)備應(yīng)用量身定制。

 

特點(diǎn)

• 行程范圍:0~16/32μm

• 通孔直徑:Φ140mm

臥式承載:5kg

• 可定制

 

應(yīng)用

• 顯微成像

• 表面檢測(cè)

• 移相/干涉/計(jì)量

• 精密定位

• 移相器

• 光學(xué)捕獲

 

10V步進(jìn)電壓與位移曲線

應(yīng)用示圖

P77.D9壓電移相器是專為臥式激光干涉儀而設(shè)計(jì),帶載大口徑鏡架等,亞納米級(jí)步進(jìn)移相,為光學(xué)檢測(cè)設(shè)備提供高精密的核心組件,顯著提高光學(xué)檢測(cè)的精度。

 

技術(shù)參數(shù)

運(yùn)動(dòng)自由度:Z軸

標(biāo)稱行程范圍(0~120V):12.8或25.6μm

行程范圍(0~150V):16或32μm

通孔尺寸:φ140mm

外形尺寸:210×210×56mm

分辨率:0.5nm

俯仰/偏航/滾動(dòng):<15μm

空載諧振頻率:200Hz

臥式承載能力:5kg

靜電容量:14.4或28.8μF

材質(zhì):鋼、鋁

重量:4.2kg

工作溫度范圍:-20~80℃

控制:1或2路控制

連接器:LEMO

出線長(zhǎng):1.5m

 

芯明天其他壓電移相器

 

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