壓電促動器內(nèi)部集成高可靠性壓電陶瓷，可實現(xiàn)納米級分辨率，位移行程可達260微米，微秒級響應(yīng)時間，外部由柱形不銹鋼外殼保護。較高的內(nèi)部機械預(yù)載力可適用于高負(fù)載、高動態(tài)應(yīng)用。出力達50000N，使壓電促動器非常適于腔調(diào)諧、主動振動、減震抑震或自適應(yīng)力學(xué)。同時，小體積、高諧振頻率等特點又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉(zhuǎn)、精密加工或顯微光刻等應(yīng)用。
壓電促動器應(yīng)用領(lǐng)域：
超導(dǎo)腔調(diào)諧
通過諧振器在軸向拉伸超導(dǎo)腔，改變加速間隙的大小，控制超導(dǎo)腔的頻率。通過機械調(diào)諧進行頻率的粗調(diào)后，當(dāng)超導(dǎo)腔的頻率接近所需要的頻率時，通過壓電陶瓷促動器對頻率進行微調(diào)。利用的是壓電陶瓷促動器的大出力、微位移的特性。
微細電火花加工
采用微細電火花加工微小孔過程中會產(chǎn)生很多碎屑，這會嚴(yán)重影響電火花加工的精準(zhǔn)度及加工速度。設(shè)備中采用壓電促動器，利用其微納米級位移，高頻振動，大出力等特性將加工產(chǎn)生的碎屑進行有效的清除，起到優(yōu)異的導(dǎo)屑作用。
減震抑震
震動是很多機械系統(tǒng)中需要避免或消除的，如航空航天、汽車行業(yè)等。在震動監(jiān)測系統(tǒng)中監(jiān)測到震動時，通過給壓電促動器施加電信號，使壓電促動器隨之產(chǎn)生與震動方向相反的位移，從而抵消震動。
