壓電移相器是移相干涉儀中非常重要的部件，壓電式移相器由于分辨率高、響應速度快、易于控制、性能穩定，因此被廣泛使用。 壓電移相器應用案例：
圖像處理/穩定
干涉法
激光掃描/光束偏轉
激光調諧
光過濾/開關
光束穩定 壓電移相器特點:
用于掃描、光學對準及鏡子移動裝置對準
10mm中空
壓電三腳設計
光束偏轉可達2.4mrad
活塞運動可達12μm（移相器）
亞毫秒響應，亞微弧度分辨率
用于光學，鏡片或其他部件
無摩擦，高精度彎曲導向系統
平行運動學擴展動態性及更好的多軸精度 壓電移相器技術參數： | 型號 | 開環-K | 移相器 | 偏轉鏡 | 單位 | | P36.Z1K | P36.ZT1K | | 運動自由度 | Z | Z、θx、θy | | | 運動和定位 | | 傳感器類型 | - | - | | | θx、θy標稱偏轉角度 | 0~120 V | - | 550 | μrad±20% | | -20~150 V | - | 800 | μrad±20% | | Z向直線行程范圍 | 0~120 V | 8 | 8 | µm±20% | | -20~150 V | 12 | 12 | µm±20% | | 偏轉分辨率 | - | 0.02 | µrad，typ. | | 直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm，typ. | | 機械性能 | | 空載諧振頻率 | 7.5 | 7.5 | kHz±20% | | 驅動性能 | | 靜電容量 | 0.4 | 0.4 | μF/軸±20% | | 其他 | | 工作溫度范圍* | -20~80 | -20~80 | °C | | 材質 | 鋼 | 鋼 | | | 外形尺寸（直徑-內徑/高） | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm×mm×mm | | 重量 | 50 | 80 | g±5% | | 出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | | 電壓連接器** | LEMO | LEMO | |
*可定制超低溫版本及超高真空版本。 **可定制連接器 |
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