1.三維θxθyZ向壓電偏擺臺 特性
• ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運(yùn)動(dòng)及Z向110μm直線運(yùn)動(dòng) • 閉環(huán)定位精度高 • 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 響應(yīng)速度快
2.三維θxθyZ向壓電偏擺臺外觀形狀
產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖
閉環(huán)曲線
閉環(huán)傳感精度高
頻率負(fù)載曲線
仿真分析
P51系列壓電偏轉(zhuǎn)臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉(zhuǎn)行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達(dá)110μm。
P51偏轉(zhuǎn)臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有超高的剛度以及導(dǎo)向精度。
可選擇內(nèi)置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，直線運(yùn)動(dòng)分辨率可達(dá)到亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧度、定位穩(wěn)定時(shí)間為毫秒量級。
通過有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導(dǎo)向機(jī)構(gòu)偏轉(zhuǎn)臺。有限元分析技術(shù)用于設(shè)計(jì)運(yùn)動(dòng)方向上zui高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許*精度的運(yùn)動(dòng)，因?yàn)殂q鏈機(jī)構(gòu)無間隙、無摩擦。
超薄的設(shè)計(jì)適用于顯微應(yīng)用且可負(fù)載大鏡片
產(chǎn)品測試
P51壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達(dá)80×80mm，非常適用于需要透射光的應(yīng)用，負(fù)載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。
P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準(zhǔn)、納米聚焦、計(jì)量等應(yīng)用設(shè)計(jì)的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。
校準(zhǔn)調(diào)測
震動(dòng)實(shí)驗(yàn)
3.三維θxθyZ向壓電偏擺臺驅(qū)動(dòng)方式
P51壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，并配合Z軸升降運(yùn)動(dòng)，再通過控制電壓的大小，對于固定的光路距離，可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。
應(yīng)用
• 光束掃描 • 激光合束對準(zhǔn)與激光致盲 • 干涉/計(jì)量 • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng) • 光路調(diào)整 • 掩模與晶片位置調(diào)整 • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術(shù) • 表面結(jié)構(gòu)分析
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