1.壓電移相器壓電偏轉鏡特性 • θx,θy二維偏轉及Z向升降運動，zui大偏轉角度0.8mrad，zui大直線位移8μm • 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時間 開環、高動態性、中心通孔 | 頻率負載曲線 | 驅動控制 | P36壓電偏轉鏡/移相器為多軸俯仰升降臺，產品體積為Ø20×19.5mm，可以實現θx, θy軸0.8mrad的偏轉，Z軸12μm的升降，開環版本具有超高的分辨率及超快的響應速度，三角架結構設計具有超寬的使用溫度范圍。 臺體中心帶有通孔孔徑為Ø10mm，適用于需要透光的應用，如光過濾等。 P36系列壓電偏轉鏡/移相器有兩個版本可選，開環Z向平臺或開環Z向/俯仰/偏轉臺，Z向升降平臺提供頂部環在垂直方向的定位（活塞運動），Z向升降/俯仰/偏轉定位臺可實現垂直（活塞運動）定位及俯仰/偏轉定位。 | 
| P36壓電偏轉鏡/移相器內部三支壓電陶瓷促動器并聯連接，提供頂部環在垂直方向的定位（活塞運動）時，只需一個驅動通道。 提供Z向升降/俯仰/偏轉運動時，需三個驅動通道。 |
2.壓電移相器壓電偏轉鏡運動方式 | 可配套鏡片轉接座 | 應用 | 
| P36壓電偏轉鏡/移相器可選擇配套鏡片轉接座方便鏡片的安裝與固定。 
| • 圖像處理/穩定 • 干涉法 • 激光掃描/光束偏轉 • 激光調諧 • 光過濾/開關 • 光束穩定 • 光束掃描 • 隔行掃描、抖動 • 光束偏擺/穩定 • 光學、激光掃描、通信 • 光學濾波器/開關 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 自適應光學、穩像 • 干涉 |
3.壓電移相器壓電偏轉鏡產品測試 | | |  
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型號 | 尾綴K-開環 | P36.Z1K | P36.ZT1K | 單位 | 運動自由度 | Z | θx,θy,Z | | 運動和定位 | θx, θy標稱偏轉角度（0~+120V） | - | 0.55 | mrad±20% | Z向直線標稱行程（0~+120V） | 8 | 8 | µm±20% | θx, θyzui大偏轉角度（-20~+150V） | - | 0.8 | mrad±20% | Z向直線zui大行程（-20~+150V） | 12 | 12 | µm±20% | θx,θy偏轉分辨率 | - | 0.02 | µrad | Z向直線分辨率 | 0.1 | 0.1 | nm | 機械性能 | 空載諧振頻率 | 7.5 | θx3.2/θy3.5/Z7.5 | kHz±20% | 空載階躍時間 | 0.5 | 0.5 | ms±20% | 空載工作頻率* | 10%行程 | 2000 | 1500 | Hz±20% | 行程 | 200 | 150 | 驅動性能 | 靜電容量 | 0.5 | 0.5 | μF/軸±20% | 其他 | 工作溫度范圍** | -20~80 | -20~80 | °C | 材質 | 鋼 | 鋼 | | 外形尺寸（外徑-內徑/高） | 20-10/19.5 | 20-10/19.5 | mm | 重量 | 50 | 80 | g±5% | 出線長 | 1.5 | 1.5 | m±10mm | 電壓連接器*** | LEMO | LEMO | |
*若此工作頻率已非常接近或超過諧振頻率，建議在遠小于諧振頻率以下使用，若必須在此頻率下工作，輸入電壓一定要足夠小，請務必從zui小信號逐漸調試。
** 可定制超低溫版本及超高真空版本。
*** 連接器可定制。
注：以上所提參數與測試環境、測試設備有關。 運動臺面平行度約20μm，粗糙度約1.6至3.2，特殊要求請在購買前與銷售工程師確認。 |
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