XP-62系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅動，具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長等優點。內置高 分辨率SGS傳感器進行全閉環運動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領域。 XP-62系列壓電納米定位臺典型應用 • 掃描顯微 • 半導體技術
• 生物技術 • 微加工/精密控制 XP-62系列壓電納米定位臺特點： • 1~3維自由組合 • zui大行程68μm • zui大承載10kg • 重復定位精度可達0.05%F.S. • 亞毫秒響應時間 大負載、高剛度、高諧振頻率、高穩定性
XP-62X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅機 構，優異的柔性鉸鏈設計，具有高剛度、高頻響等特 點，剛度可達40N/μm，空載諧振頻率高達4.2kHz， 適用于需要大負載、高頻率需求的應用，如電化學加 工等。
XP-62X系列壓電平臺內置帶有預緊力的封裝型壓 電陶瓷，平臺采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導向機 構，無磨損、免維護，提供*的穩定性。
該產品易于與其他宏動臺產品集成配套，實現更大 行程的精密定位。 宏微復合機構 XP-623.XY二維壓電納米定位臺配套二維宏動臺，應用于精密加工中。 XP-62系列壓電納米定位臺技術參數： 號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | XP-620.XS XP-620.XK | XP-621.XS XP-621.XK | XP-623.XS XP-623.XK | 單位 | 運動自由度 | X | X | X | | 標稱行程范圍（0~120V） | 12 | 24 | 48 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 17 | 34 | 68 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環分辨率 | 0.5/0.1 | 1/0.2 | 2/0.3 | nm | 閉環線性度 | 0.1/- | 0.15/- | 0.2/- | %F.S. | 閉環重復定位精度 | 0.05/- | 0.1/- | 0.15/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <25 | <30 | <35 | μrad | 推/拉力 | 480/160 | 480/160 | 480/160 | N | 運動方向剛度 | 40 | 20 | 10 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 4.2 | 3.3 | 2.5 | kHz±20% | 閉/開環空載階躍時間 | 1.5/0.8 | 3/1.6 | 5/3.2 | ms±20% | 閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 300 | 150 | 75 | Hz±20% | 行程 | 100 | 50 | 25 | zui大承載 | 10 | 10 | 10 | kg | 靜電容量 | 1.8 | 3.6 | 7.2 | μF±20% | 材質 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | 鋁、鋼 | | 重量 | 150 | 250 | 450 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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