特性 2~3維運動 位移行程40μm 體積小巧 亞毫秒響應時間 二、三維平移臺 P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ軸兩個規格型號。 閉環階躍穩定時間圖 P13.XY閉環版本40μm行程的穩定時間約為30ms。 超小體積、無機械間隙、高分辨率 固態鉸鏈平行四邊形設計原理，平行運動無機械間隙，該結構原理使其具有非常高的分辨率，運動直
線性好。
P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統并且可以配置傳感測量裝置（應變計傳
感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態使用，是掃描應用的理想選擇。 |
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